検査基準設定装置及び方法、並びに、工程検査装置

【課題】工程検査において不良兆候を検出するための検査基準を適切に設定するための技術を提供する。 【解決手段】情報処理装置が、工程検査の各検査項目について抽出された特徴量、及び、最終検査の判定結果を記憶手段に蓄積し、記憶手段に蓄積された複数の製品のデータから、検査項目毎若しくは検査項目の組み合わせ毎に、最終検査で良品と判定された製品群の特徴量の分布と、最終検査で不良品と判定された製品群の特徴量の分布との分離度を算出し、検査項目若しくは検査項目の組み合わせの中から、その分離度の大きさに基づいて、検査基準を再設定すべき検査項目を選択し、選択された検査項目に対して新たな検査基準を設定する。 【選択図】図６