예열 온도 변화에 따른 Sol-Gel 법에 의해 제작된 ZnO 박막의 물리적 특성 연구

출발물질로 zinc acetate dihydrate(Zn(CH₃COO)₂ · 2H₂O)를 사용하였고, 이 물질을 isopropanol((CH₃)₂CHOH)-monoethanolamine(MEA:H₂NCH₂CH₂OH) 용액에 용해하여 균일하고 안정한 sol을 만들었다. Sol-gel spin coating 법에 의해 ZnO 박막을 제조시 예열 온도에 따른 박막의 c-축 배향성과 그 물리적 특성을 조사하였다. c-축으로의 성장은 예열 온도의 변화에 따라 차이를 보였으며, 275℃에서 예열 후 650℃에서 최종 열처리한 ZnO 박막은 XRD 측정결과 기판에 수직한 (002) 방향으로 강한 배향성을 나타내었다. 200∼300℃에서 예열 후, 650℃에서 최종 열처리한 ZnO 박막은 UV-vis 측정결과 가시광선 영역에서 온도에 따른 투과도의 변화를 보이지만 평균 85% 이상의 높은 투과도를 보였다. 또한 370 nm 부근에서 흡수단을 나타내었으며, 광학적 밴드갭은 약 3.22 eV로 나타났다. 발광방출(PL) 측정결과, 황색(620 nm, 2.0 eV)발광이 관찰되어, 무기발광 소자로의 응용 가능성을 나타내었다.