태양전지기판의 표면 조직화 구조 형성 방법 및 이를 이용하여 제작된 태양전지기판

본 발명은 태양 전지 기판의 표면 조직화 구조 형성 방법에 관한 것이다. 상기 표면 조직화 구조 형성 방법은 (a) 기판의 표면에 대한 절단 손상을 제거(Saw damage remove)하는 단계; (b) 기판을 1차 텍스처링하여 기판의 표면에 돌출부들을 형성하는 단계; (c) 상기 기판의 표면을 식각하여 상기 돌출부들의 모서리를 라운딩 처리하는 단계; (d) 상기 기판을 2차 텍스처링하여 상기 모서리가 둥근 돌출부들의 표면에 미세 돌출부들을 형성하는 단계; (e) 상기 미세 돌출부들의 모서리를 라운딩 처리함과 동시에 절단 손상 제거하는 단계를 구비한다. 본 발명에 따른 방법에 의하여, 태양 전지 기판은 모서리가 라운딩처리된 돌출부들이 표면에 형성되고, 상기 돌출부들의 표면에 모서리가 라운딩처리된 미세 돌출부들이 형성된 표면 조직화 구조를 갖게 되어, 모서리 효과를 감소시킬 수 있게 되고, 표면 반사율을 감소시켜 단락전류밀도를 향상시킬 수 있게 된다.