Preparación y propiedades ópticas de películas multicapas ZrO2/Ag/ZrO2 depositadas por evaporación de haz de electrones

espanolEn este trabajo se presenta la preparacion de peliculas multicapas ZrO2/Ag/ZrO2 depositadas a temperatura ambiente sobre sustratos de vidrio comercial soda-lime por evaporacion mediante haz de electrones, como candidatos para aplicaciones en espejos transparentes reflectantes de calor (THM). Las propiedades opticas de transmitancia y reflectancia se investigaron en funcion de los espesores de la capas componentes de Ag y ZrO2, estos se variaron para lograr una alta transmitancia vi-sible y una reflectancia maxima en el NIR en los sistemas dielectrico/metal/dielectrico (D/M/D). La pelicula multicapa ZrO2(45nm)/Ag(22nm)/ZrO2(45nm) optimizada presento una alta transmitancia visible de 73% y alta reflectancia NIR 92% con una figura de merito factor-Z maxima de 0,56 y una longitud de onda de corte ?c de 807 nm mostrando la mejor selectividad espectral como recubrimiento THM.Recibido: 09/12/2020 Revisado: 25/03/2021 Aceptado: 14/04/2021 EnglishThis work presents the preparation of multilayer ZrO2/Ag/ZrO2 films deposited at room temperature on commercial glass substrates soda-lime by electron beam evaporation, as candidates for applications in transparent heat reflective mirrors (THM). The optical properties of transmittance and reflectance were investigated based on the thickness of the Ag and ZrO2 component layers, these were varied to achieve high visible transmittance and maximum reflectance at NIR in dielectric/metal/dielectric systems (D/M/D). The optimized ZrO2(45nm)/Ag(22nm)/ZrO2(45nm) multilayer film had a high visible transmittance of 73% and a high NIR reflectance 92% with a maximum factor-Z figure of 0,56 and a cutoff wavelength λc of 807 nm presenting the best spectral selectivity as coating THM.