Système de filtration modulaire

La presente invention concerne des systemes de filtration modulaires utilisant des cassettes de filtre amovibles pour filtrer des liquides comprenant, par exemple, des liquides utilises dans la fabrication de semi-conducteur. Un systeme de filtration peut comprendre une cassette de filtre amovible ayant un orifice d'entree de filtre et un orifice de sortie de filtre, un support de cassette de filtre configure pour recevoir et retenir la cassette de filtre, et un ensemble principal. L'ensemble principal peut comprendre en outre un orifice d'interface d'entree de filtre, et un orifice d'interface de sortie de filtre configure pour recevoir l'orifice de sortie de filtre et peut definir des trajets d'ecoulement pour diriger l'ecoulement vers et depuis la cassette de filtre. Le support de cassette de filtre peut etre couple de facon deplacable par rapport a l'ensemble principal d'une position non accouplee a une position accouplee.