蒸着マスク、蒸着装置、および蒸着マスクの製造方法

マスク部（３）とマスクフレーム（４）とを有しており、マスク部（３）は、鉄およびニッケルを含む合金を備えている蒸着マスク（２）の製造方法であって、マスク部（３）に張力を加えてマスク部（３）の端部をマスクフレーム（４）に固定した状態で、マスク部（３）に対して熱処理を行う熱処理工程を含んでいる。