고온 증발원 및 그 제조방법

본 발명은, 대용량 고온 증발원의 대형화로 인한 문제점들을 해소하기 위한 것으로, 본 발명에 따르면, 하나의 챔버 안에 물질 용융부와 증발부를 별개의 도가니와 별개의 히터를 이용하여 구성함으로써, 대용량성에 따른 불편을 해소하였고, 물질 공급부는 별개의 챔버에 구성하였으며, 물질 공급부에 하나 이상의 물질 공급을 가능하게 하여 다성분 박막을 동시에 증착할 수 있게 하였다.