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Acemap > Paper > ZrO 2 /Al 2 O 3 /ZrO 2 スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるリーク電流特性の改善

ZrO 2 /Al 2 O 3 /ZrO 2 スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるリーク電流特性の改善

2016 
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