Verfahren zum Erzeugen einer strukturierten Leuchtstoffschicht

Es wird vorgeschlagen, eine Leuchtstoffschicht durch anisotropes Aufdampfen zu erzeugen und dabei gezielt Strukturverwerfungen oder Graben in der Leuchtstoffschicht zu induzieren. Uber dem Substrat wird dazu eine elastische Schicht mit einem Muster von Rillen versehen, welches einem gewunschten Muster von Strukturlucken in der Leuchtstoffschicht entspricht. Unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten von Leuchtstoff und Substrat fuhren zu einer verstarkten Kontraktion der Leuchtstoffschicht, wobei diese an den Verwerfungen bricht und vollstandig voneinander getrennte Schichtbereiche (Inseln) entstehen. Die Leuchtstoffschicht ist zur Herstellung eines Rontgendetektors mit hoher Ortsauflosung geeignet.