With aluminum oxynitride coated article and method of producing the

Ein beschichteter Gegenstand, wie z. B. ein beschichtetes Schneidwerkzeug oder ein beschichtetes Verschleisteil, das ein Substrat und ein Beschichtungssystem auf dem Substrat umfasst. Das Beschichtungssystem umfasst eine titanhaltige Beschichtungsschicht und eine Beschichtungsschicht aus Aluminiumoxynitrid auf der titanhaltigen Beschichtungsschicht. Das Aluminiumoxynitrid umfasst eine Mischung von Phasen mit einer hexagonalen Aluminiumnitrid-Struktur (Raumgruppe: P63mc), einer kubischen Aluminiumnitrid-Struktur (Raumgruppe: Fm-3m) und optional einer amorphen Struktur. Die Zusammensetzung der Beschichtungsschicht aus Aluminiumoxynitrid umfasst Aluminium in einem Anteil im Bereich von etwa 20 Atomprozent bis etwa 50 Atomprozent, Stickstoff in einem Anteil im Bereich von etwa 40 Atomprozent bis etwa 70 Atomprozent und Sauerstoff in einem Anteil im Bereich von etwa 1 Atomprozent bis etwa 20 Atomprozent. Ein Verfahren zum Herstellen des beschichteten Gegenstandes umfasst einen Schritt zum Bereitstellen eines Substrats und Aufbringen einer Beschichtungsschicht aus Aluminiumoxynitrid aus einem Gasgemisch, das Stickstoff, Aluminiumtrichlorid, Ammoniak, Kohlenstoffdioxid, Chlorwasserstoff, optional Kohlenstoffmonoxid, optional Argon und Wasserstoff umfasst.