Sauerstoffdetektionsverfahren, Luftleckbestimmungsverfahren,Gaskomponentendetektionsgerät und Vakuumverarbeitungsvorrichtung

Ein Sauerstoffdetektionsverfahren beinhaltet: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffangers (103), und eines Gluhfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberflache ausgebildet ist; Steuern eines zu dem Gluhfaden (101) fliesenden Gluhfadenstroms, so dass ein Emissionsstrom konstant wird; Abgeben von durch Warmeerzeugung verursachten thermionischen Elektronen durch Anlegen des Gluhfadenstroms, und Erzeugen von Ionen durch Ionisieren eines Gases; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffanger (103); und Detektieren von in einer Vakuumverarbeitungskammer vorhandenem Sauerstoff durch Messen eines Gluhfadenstromwerts.