Device for vacuum coating of substrates of different sizes

Der Erfindung, die eine Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung von Substraten unterschiedlicher Grose betrifft, die Schleusenkammern am Eingang und am Ausgang und mehrere hintereinander angeordnete Prozesskammern sowie Transportmittel zum sequentiellen Transport von Substraten aufweist, die eine Substratbreite aufweisen durch die Schleusenkammern und zum kontinuierlichen Transport durch die Prozesskammern, wobei die Schleusen- und die Prozesskammern eine Kammerbreite aufweisen, die der Substratbreite entspricht und eine Schleusenkammer durch eine Beladeflache F B mit einer Breite b und einer Lange 1 bestimmt ist, die die zur Aufnahme mogliche Substratflache kennzeichnet, liegt die Aufgabe zu Grunde, die beschichtbare Grundflache jeder Prozesskammer besser zu nutzen, damit weniger Beschichtungsmaterial verloren geht. Diese Aufgabe wird dadurch gelost, dass das Verhaltnis V aus Breite zu Lange V = b/1 groser als ein Minimalverhaltnis Vmin mit Vmin = 0,95 - 0,019 FB ist.