6-mirror microlithography projection lens

Die Erfindung betrifft ein Mikrolithographie-Projektionsobjektiv fur kurze Wellenlangen, vorzugsweise 193 nm mit einer Eintrittspupille und einer Austrittspupille zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld, das das Segment eines Ringfeldes darstellt, wobei das Segment eine Symmetrieachse und eine Ausdehnung senkrecht zur Symmetrieachse aufweist und die Ausdehnung mindestens 20, bevorzugt 25 mm, ist, DOLLAR A - einem ersten (S1), einem zweiten (S2), einem dritten (S3), einem vierten (S4), einem funften (S5) und einem sechsten Spiegel (S6) in zentrierter Anordnung zu einer optischen Achse, wobei DOLLAR A - jeder dieser Spiegel einen Nutzbereich aufweist, in dem die Lichtstrahlen, die durch das Projektionsobjektiv gefuhrt werden, auftreffen; sowie DOLLAR A - einer numerischen Apertur an der Austrittspupille groser als 0,1, bevorzugt groser als 0,2, besonderes bevorzugt groser als 0,23. DOLLAR A Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, das der Durchmesser des Nutzbereiches des ersten, zweiten, dritten, vierten, funften und sechsten Spiegels 300 mm ist.