Techniques pour améliorer la qualité d'un faisceau ionique extrait au moyen d'électrodes à transparence élevée

L'invention concerne des techniques pour ameliorer la qualite d'un faisceau ionique extrait au moyen d'electrodes a transparence elevee. Dans un mode de realisation particulier de l'invention, les techniques peuvent etre realisees a l'aide d'appareils utilises pour l'implantation ionique. L'appareil peut comprendre une source ionique destinee a produire un faisceau ionique, la source ionique comprenant une plaque dotee d'un orifice laissant passer le faisceau ionique. L'appareil peut egalement comprendre un ensemble d'electrodes d'extraction comprenant au moins une electrode de suppression et une electrode de terre a transparence elevee, l'ensemble des electrodes d'extraction pouvant extraire du faisceau ionique de la source ionique par l'intermediaire de la plaque, et l'electrode de terre a transparence elevee pouvant etre configuree de maniere a optimiser la conductance des gaz entre l'electrode de suppression et l'electrode de terre a transparence elevee en vue d'ameliorer la qualite du faisceau ionique extrait.