触媒層担持基板の製造方法、膜電極複合体の製造方法、および燃料電池の製造方法

【課題】 空孔構造の制御の可能な触媒層担持基板の製造方法、膜電極複合体の製造方法、および燃料電池の製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に、金属触媒層をスパッタ、もしくは蒸着する第１の工程と、カーボン及び元素Ｍを含む金属の混合層をスパッタ、もしくは蒸着する第２の工程とを複数回交互に繰り返して金属触媒層と混合層の積層体を形成する積層工程と、積層工程の後に、積層体に対して酸処理を行う酸処理工程と、を具備することを特徴とする。ただし、元素ＭはＳｎ、Ａｌ、Ｃｕ及びＺｎよりなる群から選ばれる少なくとも一種の元素である。 【選択図】図１