Intelligent integrated lithography control system based on the product structure and yield feedback system

Prozesssteuerungssystem (100, 300) mit: einer Steuerung (102), die in gesteuerter Weise einen Fertigungsprozess ausfuhrt; einer Prozessanlage (104), die Messinformationen empfangt und von der Steuerung (102) gesteuert wird; und einer Uberwachungskomponente (106, 304), die kollektiv die Messinformation analysiert, in geeigneter Weise die Information gewichtet und bestimmt, ob der Fertigungsprozess akzeptabel ist.