Couche absorbant la lumière et système multicouche contenant ladite couche, procédé de production du système multicouche et cible de pulvérisation appropriée à cet effet

L'invention concerne les systemes multicouches absorbant la lumiere qui sont utilises pour differentes applications, par exemple pour des applications solaires thermiques ou pour ce qu'on appelle des « matrices noires » en relation avec les ecrans a cristaux liquides. La ou les couches doivent donc presenter une absorption elevee et une faible reflexion dans le domaine spectral du visible, et doivent pouvoir etre gravees en utilisant de simples acides dilues sans production de substances toxiques et sans residus de particules. A cet effet, la couche absorbante selon l'invention presente une matrice d'oxyde contenant un composant de base K1 constitue d'oxyde de zinc, d'oxyde d'etain et/ou d'oxyde d'indium, et un composant additionnel K3 qui peut remplacer le composant de base dans une proportion pouvant aller jusqu'a 75 % en poids et qui est constitue d'oxyde de niobium, d'oxyde d'hafnium, d'oxyde de titane, d'oxyde de tantale, d'oxyde de vanadium, d'oxyde d'yttrium, d'oxyde de zirconium, d'oxyde de magnesium et de melanges de ces derniers. La matrice contient un composant de noircissement K2 constitue de molybdene, de tungstene et d'alliages et de melanges de ces derniers, qui est present soit sous la forme d'un metal soit sous la forme d'un compose d'oxyde sous-stoechiometrique du metal, de telle sorte que le materiau de la couche presente un degre de reduction qui est defini par une teneur en oxygene d'un maximum de 65 % de la teneur stoechiometrique maximale en oxygene. La proportion « x » du composant de noircissement additionnel K2 - calculee sur la base du poids de sa proportion elementaire par rapport au poids du materiau de la couche - se situe entre 20 et 50 % en poids.