Système de gravure de plaquette, et procédé de gravure de plaquette utilisant ledit système

2013 
La presente invention concerne un systeme de gravure de plaquette et un procede de gravure de plaquette utilisant ledit systeme, qui permettent de fabriquer et de transferer sans a-coups de minces plaquettes. La presente invention comprend : un dispositif de meulage de plaquette servant a graver mecaniquement des plaquettes ; un dispositif d'alignement servant a aligner des plaquettes gravees a partir de l'unite de meulage de plaquette ; un dispositif de gravure a sec servant a graver une fois de plus les plaquettes qui sont alignees par le dispositif d'alignement ; un dispositif de transfert de plaquette servant a transferer les plaquettes entre le dispositif d'alignement et le dispositif de gravure a sec ; et un dispositif de montage en ruban servant a realiser un rubanage sur les plaquettes dont la gravure a partir du dispositif de gravure a sec est accomplie.
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