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Acemap > Paper > アークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によるＴｉ‐Ｚｒ系合金の炭化物及び窒化物の薄膜作製

アークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によるＴｉ‐Ｚｒ系合金の炭化物及び窒化物の薄膜作製

1994 
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