Ｓｉ表面の炭素系ガスによる汚染，吸着，反応 クリーンルームの有機物汚染とその低減策;Ｓｉ表面の炭素系ガスによる汚染，吸着，反応 クリーンルームの有機物汚染とその低減策;Contamination, Adsorption and Reaction of Si Surface with Carbonaceous Gases. Airborne Organic Contamination in Clean Rooms and its Reduction Methods.