Procede et dispositif de traitement d'un materiau par laser assiste par un brouillard fin de liquide

L'invention concerne un systeme permettant le traitement d'un materiau par laser assiste par un liquide, comprenant un laser ultraviolet (2) concu pour emettre un faisceau laser, des etages de translation (7) concus pour monter un substrat (6) afin qu'il soit expose au faisceau laser, un systeme de formation d'images concu pour former des images du faisceau dirige vers le substrat (6), et une buse (14) couplee a un reservoir de liquide (12) concue pour pulveriser un brouillard fin de liquide sur le substrat (6). Le reservoir contient un liquide, tel que de l'eau, qui n'est pas sensiblement photoabsorbant autour d'une longueur d'onde UV primaire du faisceau laser UV. Les etages de translation (7) peuvent etre deplaces dans au moins deux directions qui sont essentiellement situees dans un plan du substrat (6), de telle sorte que le deplacement des etages permette usinage d'une surface importante du substrat (6) par exposition de celui-ci au faisceau laser UV incident.