マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法

(57)【要約】 【課題】ねじれ方向に十分なコンプライアンスを確保し ながら、ねじれの軸に垂直な方向には剛性の高いマイク ロ構造体である。 【解決手段】マイクロ構造体は、基板１２０と、少なく とも一つ以上の揺動体１３０を有し、揺動体１３０が複 数のトーションバー１２２〜１２５から成る一組以上の トーションスプリング１２８、１２９によって基板１２ ０に対して弾性的に揺動自由に支持されている。一組の トーションスプリング１２８、１２９は、互いに長軸が 平行であるように並列的に近接して配置され、長軸に垂 直な面の断面形状が扁平であり、最も撓みやすい方向が 交差するように配置された少なくとも２つのトーション バー１２２〜１２５を含む。