洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、省液型の液体供給ノズル装置及びウエット処理装置

(57)【要約】 （修正有） 【課題】ウエット処理液の使用量を従来の１０分の１以 下へと低減することができ、しかも従来よりも高い清浄 度を得ることができる洗浄やエッチング、現像、剥離等 を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、 省液型の液体供給ノズル装置及びウエット処理装置を提 供すること。 【解決手段】 一端にウエット処理液５を導入するため の導入口７を有する導入通路１０と、一端にウエット処 理後のウエット処理液５‘をウエット処理の系外へ排出 するための排出口１５を有する排出通路１２とを形成 し、該導入通路１０と該排出通路１２とをそれぞれの他 端において交差せしめて交差部１４を形成するとともに 該交差部１４に、被ウエット処理物（基板）１に向けて 開口する開口部６を設けてなる。