洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、省液型の液体供給ノズル装置及びウエット処理装置
1996
(57)【要約】 (修正有)
【課題】ウエット処理液の使用量を従来の10分の1以 下へと低減することができ、しかも従来よりも高い清浄 度を得ることができる洗浄やエッチング、現像、剥離等 を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、 省液型の液体供給ノズル装置及びウエット処理装置を提 供すること。
【解決手段】 一端にウエット処理液5を導入するため の導入口7を有する導入通路10と、一端にウエット処 理後のウエット処理液5‘をウエット処理の系外へ排出 するための排出口15を有する排出通路12とを形成 し、該導入通路10と該排出通路12とをそれぞれの他 端において交差せしめて交差部14を形成するとともに 該交差部14に、被ウエット処理物(基板)1に向けて 開口する開口部6を設けてなる。
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