0.84(K0.48Na0.52)NbO3-0.16K0.56Li0.38NbO2.97无铅压电陶瓷的多层膜工艺研究

采用多层膜工艺制备了0.84（K0.48Na0.52）NbO3-0.16K0.56Li0.38NbO2.97无铅压电陶瓷, 研究了不同烧结温度和保温时间对陶瓷的密度、物相、微观形貌以及介电和压电性能的影响。结果表明, 所有烧结条件下得到的陶瓷都是钙钛矿结构和少量钨青铜结构的混合相, 而且室温下陶瓷都处于多型相变区域。1050℃烧结8 min得到的陶瓷断面晶粒均匀, 相对密度达到95%以上, 并且获得最优的介电和压电性能： 介电常数为er=618, 介电损耗为tanδ=0.027, 压电常数为d33=112 pC/N。与传统制备工艺相比, 多层膜工艺大大降低了烧结温度, 缩短了烧结时间, 有效地抑制了K、Na的挥发。