Magnetic recording head with overlaid leads

2006 
本发明涉及一种带覆引线垫的磁头,所述覆引线垫接触所述硬偏置结构之间所述传感器的顶表面且不接触所述硬偏置结构,所述硬偏置结构从与所述传感器的直接接触电绝缘。 所述传感器顶上所述引线垫接触区域通过导电材料的侧壁沉积定义从而在形成所述引线的其余部分之前在光致抗蚀剂上形成引线垫。 以浅角沉积用于所述引线垫的导电材料从而最大化抗蚀剂上的侧壁沉积,然后以陡角离子研磨从而从水平区域去除所述导电材料且同时留下所述侧壁材料。 绝缘层以陡角沉积在所述引线材料上,然后以浅角研磨从而从所述侧壁去除绝缘。
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