Apparatus for depositing organic thin layer that can detect the thickness of the organic thin layer in real time and method thereof

본 발명은 유기발광소자(OLED)를 제조하기 위한 유기박막 증착장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 기판에 증착되는 막두께를 실시간으로 모티터링할 수 있는 유기박막 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은, 진공 챔버 내에서 유기 박막이 증찰되는 기판과 동일한 조건에 배치되어, 그 표면에 유기박막이 증착되는 시험용 기판에 증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정할 수 있도록 시험용 기판을 배치하고, 이 시험용 기판에 레이져를 조사하여 얻어지는 정보를 실시간으로 푸리에 변환하여 기판에 증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정할 수 있도록 한다. 유기발광소자, 유기박막, 두께 측정, 레이져, 푸리에 변환