Appareil d'émission de faisceaux d'électrons à canon d'électrons à deux lentilles pour l'imagerie haute résolution à forts et faibles courants de faisceau

Selon un mode de realisation, l'invention concerne un appareil d'emission de faisceaux d'electrons qui comprend un canon d'electrons a deux lentilles pour l'emission d'un faisceau d'electrons. Le faisceau d'electrons et un faisceau d'electrons a fort courant de faisceau dans un premier mode de fonctionnement, et un faisceau d'electron a faible courant de faisceau dans un second mode de fonctionnement. L'appareil comprend par ailleurs une ouverture de colonne qui est hors du trajet du faisceau d'electrons a fort courant de faisceau dans le premier mode de fonctionnement, et centree autour d'un axe optique de l'appareil d'emission de faisceaux d'electrons dans le second mode de fonctionnement. Dans un autre mode de realisation, l'invention concerne un canon d'electrons qui comprend une premiere lentille de canon, une ouverture de limitation du faisceau, et une seconde lentille de canon. La premiere lentille de canon focalise les electrons avant qu'ils ne traversent l'ouverture de limitation du faisceau, tandis que la seconde lentille de canon focalise les electrons apres qu'ils ont traverse l'ouverture de limitation du faisceau. L'invention concerne egalement d'autres modes de realisation, d'autres aspects et d'autres caracteristiques.