가정용 MEMS형 열측정 적외선 센서에 대한 신뢰성 연구

적외선을 이용한 열측정 센서는 단순히 온도를 측정하는 것이 아니라 열화상으로 구현할 수 있는 이미지 기술을 포함하기 때문에, 체온계, 가전기기, 열화상 카메라, 자동차뿐만 아니라 스마트폰, 웨어러블 IT, 사물인터넷(IoT) 등의 성장과 함께 응용시장이 급속히 넓어지고 있다. 열측정 적외선 센서는 비접촉식으로 측정되기 때문에, 렌즈와 센서 소자가 광학계를 구성하고 있다. 따라서 외부의 여러 스트레스에 의해 특성에 영향을 받을 수 있어 최근 신뢰성이 중요한 이슈가 되고 있다. 본 논문에서는 적외선을 이용한 열측정 센서에 대해 여러 신뢰성 시험을 수행하고 결과를 분석하였다.