Dispositif électromécanique et procédé de sa fabrication

La presente invention porte sur un dispositif electromecanique et un procede de sa fabrication comprenant : fournir une premiere tranche ayant un agencement de circuit sur une premiere surface de celle-ci et une premiere electrode sur une seconde surface de celle-ci ; former de premiere et seconde structures de trou de liaison depuis la premiere surface vers la seconde surface de la premiere tranche, ledit premier trou de liaison connectant electriquement la premiere electrode a l'agencement de circuit ; fournir une seconde tranche ayant une structure suspendue sur une premiere surface de celle-ci ; former une seconde electrode sur la structure suspendue ; former une structure d'interconnexion sur la premiere surface de la seconde tranche qui est connectee electriquement a la seconde electrode ; lier la premiere tranche a la seconde tranche ayant la seconde surface de la premiere tranche tournee vers la premiere surface de la seconde tranche, ayant la seconde structure de trou de liaison connectant electriquement l'agencement de circuit a la structure d'interconnexion, et les premieres et secondes electrodes formant une structure capacitive.