レーザ照明光学系、該光学系を用いた露光装置、レーザ加工機、及び投射装置

(57)【要約】 【課題】 レーザアレイ光源のアレイ垂直方向の光束に 起因する干渉縞を減らし、被照射部への均一照明性能を 向上させる。 【解決手段】 ホログラム素子１２は、レーザアレイ光 源１１から発散される光束のうち、アレイ方向に直交す る光成分の強度分布を変換させる。すなわち、ホログラ ム素子１２の回折角を予め設計することにより、レーザ 光のガウシアンプロファイルを調整して被照射部１４で 照度分布が一定となるようにする。また、アレイ方向に 垂直な光束成分は、図示するようにフライアイレンズ系 １３によって被照射部１４で均一化する。ホログラム素 子１２とフライアイレンズ系１３とにより、被照射部１ ４における均一照明を実現する。