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Acemap > Paper > 三次元ハイブリッドPIC/MC法を用いたSHI(住友重機械)反応性プラズマ蒸着装置のプラズマシミュレーション

三次元ハイブリッドPIC/MC法を用いたSHI(住友重機械)反応性プラズマ蒸着装置のプラズマシミュレーション

2012 
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