多孔性シリカ膜、それを有する積層基板、それらの製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子

【課題】耐アルカリ水性に優れると共に、長期信頼性と光取り出し効率のよい積層基板、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子を提供する。 【解決手段】屈折率が１．１０〜１．３５であり、表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層が５〜１００ｎｍの厚さで存在する多孔性シリカ膜により、上記課題を解決した。また積層基板は、基板上に上記多孔性シリカ膜を形成して得ることができ、エレクトロルミネッセンス素子は、上記積層基板を有し、その積層基板上に透明電極、エレクトロルミネッセンス層および陰極をこの順で積層して得ることができる。 【選択図】 なし