A plurality of electrodes silicon carbide seal ring atmospheric plasma processing method Parts

多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。 它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。 它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。 它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。 本发明能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。