A method of manufacturing a solar cell and solar cell

Ein Herstellungsverfahren einer Solarzelle, die einen auf einem transparenten Substrat (6, 51) gebildeten, transparenten leitenden Film (54) beinhaltet, beinhaltet die Schritte: Bereitstellen eines Targets (7), wobei das Target ZnO und ein Material beinhaltet, das einen ein Al oder ein Ga beinhaltenden Stoff beinhaltet, wobei das ZnO ein Hauptbestandteil des Targets (7) ist; Anlegen einer elektrischen Sputterspannung an das Target und Bilden einer ersten Schicht (54a), die in dem transparenten leitenden Film (54) beinhaltet ist, in einer ersten Atmosphare, die ein Prozessgas beinhaltet; Anlegen einer elektrischen Sputterspannung an das Target (7) und Bilden einer zweiten Schicht (54b), die in dem transparenten leitenden Film (54) beinhaltet ist, auf der ersten Schicht (54a), in einer zweiten Atmosphare, die im Vergleich zu der ersten Atmosphare eine grosere Menge eines Sauerstoffgases beinhaltet; Bilden einer unregelmasigen Form durch Durchfuhren eines Atzvorgangs auf dem transparenten leitenden Film (54).