Composition design and properties of CoNbZr amorphous films deposited by unbalanced magnetron sputtering

Co87Nb10Zr3， Co76Nb19Zr5， Co64Nb26Zr10 和 Co64Nb16Zr20 非结晶的电影被 DC 在非结晶的玻璃底层上扔失衡的磁控管劈啪作响。非结晶的电影的作文根据公司， Nb 和 Zr 的单个免职率被定制。有期望的作文的非结晶的电影借助于共同劈啪作响被准备公司， Nb 和 Zr 同时指向。在共同劈啪作响期间在三个目标之中有相互作用，这被显示。这些电影的形态学和作文被 SEM， AFM 和版本观察结构和磁性被 XRD 和物理性质测量系统(PPMS ) 测量。coercivity 随着作文变化，从 240 ～ 1 600 A/m 变化。在真空以后在 475， 500， 525 和 550 的温度的等温的退火 ????????????? ???  ??? 堠 ???? 業牣慯慮祬敺？？