Unsicherheitsbeiträge der Krafteinleitung bei der Kalibrierung der Federkonstanten von AFM Cantilevern

Bei der Kalibrierung der Federsteifigkeit von AFM Cantilevern liefert deren Fehlausrichtung bezuglich des Kalibriersystems einen signifikanten Beitrag zur Messunsicherheit. In dieser Veroffentlichung werden diese Messunsicherheitsbeitrage auf Basis von analytischen und numerischen Modellen beschrieben sowie mit geeigneten Messungen uberpruft. Das Ziel ist die Reduzierung der Messunsicherheit der Federsteifigkeit.