Device for holding a to be heated microstructure and method of manufacturing the device

Bei einer Vorrichtung zur Halterung einer zur heizenden Mikrostruktur (1) an einem Tragrahmen (5) ist wenigstens ein volumenstrukturierter Bruckenkorper (13, 14) vorgesehen, der die Mikrostruktur (1) und den Tragrahmen (5) uber bruckenartig ausgebildete Tragrahmenabschnitte (15 bis 18), Tragerplattenabschnitte (19, 20) und Verbindungsabschnitte (21, 22) unter Ausbildung von Isolierausnehmungen (23 bis 26) miteinander verbindet. Auf diese Weise ist bei einer verhaltnismasig hohen mechanischen Stabilitat eine gute thermische Isolierung der Mikrostruktur (1) von dem Tragrahmen (5) erzielt. Die Vorrichtung wird durch Verbindung einer Substratplatte mit einer volumenstrukturierten Deckplatte sowie anschliesender Abtrennung von einzelnen Einheiten hergestellt.