基板処理装置、基板処理装置のクリーニングの終点検出方法、及び基板処理の終点検出方法

本発明の基板処理装置は、基板を収容する処理容器と、前記処理容器内に前記処理容器内をクリーニングするためのクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、前記処理容器内を排気する排気装置と、前記排気装置の作動状態を検出する作動状態検出器と、前記作動状態検出器の検出結果に基づいて前記クリーニングの終点を検出する終点検出器とを具備している。