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含フッ素ケイ素化合物、シリコーン樹脂、それを用いたレジスト組成物、及びパターン形成方法
含フッ素ケイ素化合物、シリコーン樹脂、それを用いたレジスト組成物、及びパターン形成方法
2006
mutuo nakazima
takesi watanabe
tuyosi kin nama
kouzi hasegawa
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