Procede de production de structures monocristallines

2003 
Pour obtenir des croissances epitaxiales selon l'etat de la technique, on doit souvent realiser plusieurs bandes pour reformer une zone a reparer. Cela conduit a un chevauchement et a un defaut d'orientation des structures cristallines. Avec le procede selon l'invention, la bande est d'une largeur telle qu'il n'y a pas de chevauchement car elle est adaptee au contour de la zone a reparer.
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    1
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []