Автоматизированная система контроля параметров плазмы для получения наноструктурных пленок

Полуэктов Н.П., Харченко В.Н., Усатов И.И., Царьгородцев Ю.П. АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК. Плазменная технология получения наноструктурных пленок с заданными физическими свойствами вызывает необходимость контроля параметров разряда. Микроструктура и свойства пленок зависят от теплового потока на ее поверхность. Приведены методы определения параметров плазмы и тепловых потоков на осаждаемую пленку. Разработана автоматизированная система оперативного контроля этих параметров. Дано описание алгоритмов программного обеспечения системы и аппаратной реализации.