C—H—N体系生长金刚石薄膜

通过热力学分析从理论计算上给出了Ｃ－Ｈ－Ｎ体系中低压生长金刚石的三元相图，该相图中存在金刚石生长区，不同温度和压强下金刚石生长区几乎都位于ＣＨ４－Ｎ连线以下，并且随衬底的改变而有显著的变化，随着氮含量的增加，金刚石生长区向碳含量减少的方向移动，使用该相图对优化添加含氮气源金刚石的实验条件提供了理论依据。