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碳化硅(SiC)单晶的制造方法

2005 
提供一种可以以低成本制造大型的碳化硅(SiC)单晶的制造方法。通过将硅(Si)和碳(C)溶解在碱金属助熔剂中并使它们反应,使碳化硅单晶生成或生长。作为上述碱金属,优选为锂(Li)。根据该方法,即使是在例如1500℃以下的低温条件下,也可以制造碳化硅单晶。将通过本发明的方法得到的碳化硅单晶的一个例子显示在图3(B)的照片上。
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