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量子分子動力学シミュレーションを用いたフルオロカーボンラジカルCF x によるSiO 2 エッチングプロセスのメカニズム解明
量子分子動力学シミュレーションを用いたフルオロカーボンラジカルCF x によるSiO 2 エッチングプロセスのメカニズム解明
2012
itou hisasi
kuwahara takuya
isikawa takesi
higuti yuuzi
ozawa nobuki
simazaki tomomi
samukawa seizi
kubo hyaku tukasa
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