プローブ、被検体情報取得装置、及びプローブの製造方法

【課題】 静電容量型トランスデューサの振動膜直上に光反射層を配置すると、振動膜のばね定数の変化、振動膜の変形量のばらつき等が発生する可能性がある。 【解決手段】 本発明のプローブは、被検体からの音響波を受信するためのプローブであって、間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する素子と、前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、を有し、前記支持層は、破断応力が５０ＭＰａ以上であることを特徴とする。 【選択図】 図１