The electrostatic deflection system for corpuscular

Die Erfindung betrifft elektrostatische Ablenksysteme fur Korpuskularstrahlen, die insbesondere fur mikro- und nanostrukturierte Anwendungen in Lithographieanlagen oder Messgeraten einsetzbar sind. Gemas der gestellten Aufgabe sollen die einzelnen Elektroden eines solchen Ablenksystems dauerhaft eine sehr genaue axialsymmetrische Anordnung zueinander aufweisen und beibehalten. Bei dem erfindungsgemasen elektrostatischen Ablenksystem sind stabformige Elektroden in axialsymmetrischer Anordnung in einem innen hohlen Trager gehalten, durch den ein Korpuskularstrahl gerichtet werden kann. Der Trager ist dabei aus mindestens zwei und maximal vier miteinander verbindbaren Tragerelementen gebildet.