Источник питания для магнетронных распылительных систем

Описаны конструкция и электрические схемы источника питания для магнетронных распылительных систем мощностью до 5 кВт. Источник предназначен для работы в режиме постоянного тока и в импульсном режиме с частотой повторения импульсов до 100 кГц. Система дугоподавления ограничивает энерговклад в дуговой разряд на уровне 110 мДж при работе в режиме постоянного тока и 9 мДж при работе в импульсном режиме. На примере тонкопленочных покрытий двух типов (пленки серебра и пленки легированного галлием оксида цинка) продемонстрированы возможности оптимизации покрытий выбором рабочих параметров источника питания.