Optimizing focal plane adjustment functions for an image field on a substrate

Ein Belichtungswerkzeug enthalt eine Beleuchtungsquelle, einen Blaze-Phasengitter-Retikel, ein Linsensystem, einen Brennpunktsensor, der konfiguriert ist zum Aufrechterhalten eines Brennpunkts des Linsensystems, eine Auflageeinrichtung zum Halten einer Probe und einen Controller. Der Controller ist konfiguriert zum Steuern der Beleuchtungsquelle und einer Position des Blaze-Phasengitter-Retikels und des Linsensystems relativ zu der Auflageeinrichtung zum Belichten der Probe gemas einem Produktaufnahmeplan zum Erzeugen einer Blaze-Phasengitter-Probe. Der Controller ist konfiguriert zum Einstellen eines Brennpunktversatzes des Belichtungswerkzeuges gemas Produktaufnahme zum Verbessern einer Brennpunktebenenanpassung, basierend auf einer Ruckkopplung, welche aus einer Analyse von Bildern der Blaze-Phasengitter-Probe erzeugbar ist.