НЕОХЛАЖДАЕМЫЙ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРИЕМНИК ИЗЛУЧЕНИЯ ИНФРАКРАСНОГО И МИЛЛИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНОВ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ VOx

Предложена конструкция неохлаждаемого микроболометрического приемника инфракрасного и миллиметрового излучений на основе пленки VOx . Приемник представляет собой стандартный металлостеклянный корпус с входным окном, внутри которого размещен конвертер на основе тонкой слюдяной подложки, покрытой с лицевой стороны металлической частотно-избирательной поверхностью из алюминия, на обратной стороне подложке размещены термочувствительные элементы с токовой разводкой на основе пленки VOx . Исследован механизм поглощения инфракрасного и терагерцового излучений конвертером приемника излучения. Выполнены расчеты и экспериментальные работы по регистрации излучения в диапазонах 0.4–16.66 и (0.33–0.37)∙103 мкм. Определены эксплуатационные параметры приемника. Предложены области применения приемника.