이차 전지 제작 공정을 위한 과열 증기 발생 장치

본 발명은 이차 전지 제작 공정을 위한 과열 증기 발생 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 제 1 온도 범위로 가열된 증기의 공급과 동시에, 건공기를 공급받아 제 2 온도 범위로 예열하는 라인 히터; 및 예열된 증기와 증기를 제 3 온도 범위로 재가열하여 과열 증기를 생성하여 과열 증기 공급라인을 통해 챔버(chamber) 내로 공급하는 인덕션 히터; 를 포함하며, 제 1 온도 범위 내지 제 3 온도 범위는 순차적으로 높게 설정된다.